【摘要】透明导电氧化物材料(TCO）是一种重要的半导体材料，主要有以下四个特点：一是较大的禁带宽度(>3.0 eV)；二是较低的电阻率(10-5 ～ 10-4Ω·cm)；三是在红外区反射率较高，四是可见光区域(400nm ～ 800 nm) 透过率较高(>80%)。透明导电薄膜的制备主要分物理气相沉积(PVD) 及化学气相沉积(CVD)，前者包括真空蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子束溅射、喷涂法、脉冲激光沉积法等；后者包括分子束外延、原子层外延、离子注入、喷涂热分解、溶胶- 凝胶法等本文将重点描述几种常见的TCO 薄膜的制备技术并对比各种镀膜技术的优缺点。
【关键词】
《当代体育科技》 2015-09-16
《旅游纵览》 2015-09-16
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《科技经济导刊》 2015-09-16
《区域经济评论》 2015-09-22
《现代药物与临床》 2015-09-23
《心血管病学进展》 2015-09-18
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010-56259535
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