【摘要】纳米压印技术是一种接触式工艺，已经发展了热压印、紫外压印以及微接触印刷等多种压印形式。纳米压印制造过程涉及到模板、材料、工艺以及设备等诸多因素的系统工程。想要获得纳米结构图案，模板的清洗、热压印制作、均匀紫外固化等相关核心技术的控制非常关键。利用紫外纳米压印技术制作微流控芯片二维微纳米沟道为背景，深入研究了紫外纳米压印的关键工艺过程。针对技术瓶颈，研究了低成本制作微流控芯片和二维纳米压印微纳米沟道的技术。
【关键词】
《科技经济导刊》 2015-09-29
《温州职业技术学院学报》 2015-09-29
《当代体育科技》 2015-09-29
《科技经济导刊》 2015-09-29
《当代体育科技》 2015-09-29
《科技资讯》 2015-09-29
《科技资讯》 2015-09-29
《科技经济导刊》 2015-09-29
010-56259535
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